Optoelectronics

光电科技

万博maxbetx官网德硅凯氟光电科技有限公司,致力于成为国际一流的氟化物光学晶体及元器件供应商。公司建设国内首条8英寸 - 12英寸紫外级氟化钙晶体生产线,实现国产光刻机关键材料的产业化,逐步形成“光学晶体生长 - 光学设计 - 光学加工 - 光学器件”的一站式服务能力。

项目背景

大尺寸、紫外级CaF2单晶是193nm DUV光刻机照明系统、投影物镜系统、紫外光源等部分的核心元器件材料,是光刻机国产化"卡脖子”的关键材料。目前,紫外光刻级CaF2 晶体全部依赖进口。
研发团队超60%人员具有硕士以上学历。
项目曾获02专项支持,并计划列入国家"十四五”规划。